Prototipo del sitio de Hankoom: nombres y descripciones de hankoom.com y documentos de la empresa; especificaciones aún sin revisión técnica, a confirmar con ventas.
HANKOOMShanghai Hankoom Technology Co., Ltd.
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Gabinete de suministro de precursores líquidos LDS
Foto de producto de hankoom.com
Gases especialesLDS

Gabinete de suministro de precursores líquidos LDS

Diseñada para precursores líquidos como TMA y TEOS, suministrando a los procesos posteriores de forma segura, estable y continua.

Industrias
Semiconductores · Paneles LCD · Fotovoltaica
Fuente
Ficha de producto del sitio de Hankoom

Puntos clave

  • Control preciso de presión
  • Control de temperatura
  • Control del caudal de gas portador

  • Configurado por proyecto
  • Alcance de certificados confirmado por ventas
  • Ficha preliminar disponible

Uso y condiciones

Elaborado a partir de nuestro sitio y documentos; el contenido final seguirá la revisión técnica.

Texto mostrado en inglés (traducido de la documentación en chino); aún no disponible en este idioma.

  • Electronic specialty gas supply for semiconductor, LCD panel and solar lines
  • Flammable, corrosive, toxic and inert gases matched to the equipment type

Limitaciones

  • Suitability for a given gas, panel materials and certification requirements are confirmed by sales engineering per project
  • Bulk specialty gas usually needs a dedicated gas room and exhaust system

Especificaciones Pendiente de revisión

FluidosPrecursores líquidos como TMA, TEOS
ControlControl de presión, temperatura y caudal de gas portador

Valores de nuestro sitio y documentos, sin revisión técnica. No los use para seleccionar ni para ingeniería.

Alcance y opciones

Texto mostrado en inglés (traducido de la documentación en chino); aún no disponible en este idioma.

Suministro estándar

  • Equipment and gas panel
  • Operation manual

Opciones

  • Fully automatic / semi-automatic / manual
  • Number of sticks, panel size
  • Heater boxes and heat tracing
  • Matching abatement equipment

A confirmar por separado

  • Site secondary piping, installation and commissioning
  • Local regulations and acceptance criteria

Documentos y preguntas

Descargar ficha preliminarHANKOOM_lds_datasheet-draft.txt · Sin correo. La ficha preliminar solo recoge esta página y no tiene revisión técnica.
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