Productos
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Gabinete de cilindros de gas GC
Gabinete de suministro diseñado para gases especiales electrónicos inflamables, corrosivos y tóxicos, con una entrega segura y estable.

Gabinete de gases especiales
Sistema de distribución de gases especiales para la producción de semiconductores, LCD, microelectrónica y solar, sobre todo para gases tóxicos, inflamables, corrosivos y raros.

Sistema de suministro de gases especiales a granel BSGS
Equipo de suministro de gases especiales de alto caudal, que entrega grandes caudales de gas especial electrónico de forma segura, estable e ininterrumpida.

Rack de cilindros de gas GR
Distribuye gases especiales electrónicos inertes con un suministro estable y continuo.

Caja de válvulas de distribución VMB
Caja de distribución que divide el gas especial de la línea principal en varias ramas, alimentando los equipos de proceso de forma segura mediante tubería secundaria.

Caja de derivación de gas VDB
Distribución de primera etapa para sistemas de gases especiales a granel, dividiendo la línea principal en varias sublíneas para suministro de alto caudal.

Gabinete de suministro de precursores líquidos LDS
Diseñada para precursores líquidos como TMA y TEOS, suministrando a los procesos posteriores de forma segura, estable y continua.

Módulo automático de suministro químico (ácido/álcali) 1000 L
Sistema automático de suministro de ácidos y álcalis para la producción de semiconductores, solar, paneles LCD y fibra óptica.

Módulo automático de suministro químico (ácido/álcali) 200 L
Sistema automático de suministro de ácidos y álcalis para la producción de semiconductores, solar, paneles LCD y fibra óptica.

Unidad automática de llenado químico
Equipo automático de llenado químico para la producción de semiconductores, solar, paneles LCD y fibra óptica.

Módulo de suministro químico (orgánico)
Sistema automático de suministro de productos químicos orgánicos para la producción de semiconductores, solar, paneles LCD y fibra óptica.

Caja de distribución química (orgánico)
Caja de distribución para productos químicos orgánicos en las industrias de CI, LED, TFT y fibra óptica.

Caja de distribución química (ácido/álcali)
Caja de distribución para ácidos y álcalis en la producción de semiconductores, solar, paneles LCD y fibra óptica.

Unidad de tratamiento por adsorción
Utiliza adsorción de van der Waals para capturar gases nocivos y liberar solo gas no tóxico a la atmósfera.

Depurador húmedo de gases
Trata gases inflamables o fácilmente descomponibles cuyos productos se disuelven fácilmente en agua.


Unidad de tratamiento húmedo calentado
Trata gases inflamables o fácilmente descomponibles cuyos productos se disuelven fácilmente en agua.

Unidad de calentamiento eléctrico y lavado
Descomposición por calentamiento eléctrico seguida de depuración húmeda, para gases cuyos productos se disuelven fácilmente en agua.

Unidad de tratamiento por plasma
Se usa cuando otros métodos no son adecuados, normalmente para gases fluorados. La alta temperatura de los electrodos calentados descompone el gas, que luego se enfría para cumplir los requisitos de temperatura y emisión.
Generador de nitrógeno de alta pureza PTA
Proceso de dos etapas PSA + TSA: entra aire comprimido y sale nitrógeno 5N–7N de una sola unidad, sustituyendo cilindros, dewars y tanques de nitrógeno líquido.
Purificador de gas en punto de uso (9N / 7N)
Tecnología de catalizador a temperatura ambiente que elimina H₂O, O₂, CO, CO₂, H₂, NMHC y otras impurezas de un gas de proceso 5N a menos de 1 ppb mediante reacción química y adsorción física.
Sistema de purificación con regeneración in situ (9N / 7N)
Sistema de purificación para gas de proceso de alto caudal; el adsorbente se regenera automáticamente in situ, sin devolución a fábrica.
Sistema de purificación in situ con eliminación de CH₄
Purificación regenerable in situ que también elimina CH₄, para nitrógeno y argón.