Prototype du site Hankoom : noms et descriptions issus de hankoom.com et des documents de la société ; caractéristiques non encore vérifiées techniquement, à confirmer auprès d’un commercial.
HANKOOMShanghai Hankoom Technology Co., Ltd.
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Armoire de distribution de précurseurs liquides LDS
Photo produit de hankoom.com
Gaz spéciauxLDS

Armoire de distribution de précurseurs liquides LDS

Conçue pour les précurseurs liquides tels que TMA et TEOS, alimentant les process en aval de manière sûre, stable et continue.

Secteurs
Semi-conducteurs · Écrans LCD · Photovoltaïque
Source
Fiche produit du site Hankoom

Points clés

  • Contrôle précis de la pression
  • Contrôle de la température
  • Contrôle du débit du gaz porteur

  • Configuré par projet
  • Portée des certificats confirmée par le commercial
  • Fiche provisoire disponible

Usage et conditions

Rédigé d’après notre site et nos documents ; le contenu final suivra la vérification technique.

Texte affiché en anglais (traduit de la documentation chinoise) ; pas encore disponible dans cette langue.

  • Electronic specialty gas supply for semiconductor, LCD panel and solar lines
  • Flammable, corrosive, toxic and inert gases matched to the equipment type

Limites

  • Suitability for a given gas, panel materials and certification requirements are confirmed by sales engineering per project
  • Bulk specialty gas usually needs a dedicated gas room and exhaust system

Caractéristiques En attente de vérification

FluidesPrécurseurs liquides tels que TMA, TEOS
CommandeContrôle de la pression, de la température et du débit du gaz porteur

Valeurs issues de notre site et de nos documents, non vérifiées techniquement. Ne pas les utiliser pour un choix ou une étude.

Fourniture et options

Texte affiché en anglais (traduit de la documentation chinoise) ; pas encore disponible dans cette langue.

Fourniture standard

  • Equipment and gas panel
  • Operation manual

Options

  • Fully automatic / semi-automatic / manual
  • Number of sticks, panel size
  • Heater boxes and heat tracing
  • Matching abatement equipment

À confirmer séparément

  • Site secondary piping, installation and commissioning
  • Local regulations and acceptance criteria

Documents et FAQ

Télécharger la fiche provisoireHANKOOM_lds_datasheet-draft.txt · Aucun e-mail demandé. La fiche provisoire reprend seulement cette page et n’est pas vérifiée techniquement.
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Les équipements peuvent-ils être adaptés au projet ?

Oui. Dérivations, taille du panneau, mode de commande, pompes et volume de cuve sont définis par projet et confirmés point par point avec notre commercial technique.

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