
Armoire de distribution de précurseurs liquides LDS
Conçue pour les précurseurs liquides tels que TMA et TEOS, alimentant les process en aval de manière sûre, stable et continue.
- Secteurs
- Semi-conducteurs · Écrans LCD · Photovoltaïque
- Source
- Fiche produit du site Hankoom
Points clés
- Contrôle précis de la pression
- Contrôle de la température
- Contrôle du débit du gaz porteur
- Configuré par projet
- Portée des certificats confirmée par le commercial
- Fiche provisoire disponible
Usage et conditions
Rédigé d’après notre site et nos documents ; le contenu final suivra la vérification technique.
Texte affiché en anglais (traduit de la documentation chinoise) ; pas encore disponible dans cette langue.
- Electronic specialty gas supply for semiconductor, LCD panel and solar lines
- Flammable, corrosive, toxic and inert gases matched to the equipment type
Limites
- Suitability for a given gas, panel materials and certification requirements are confirmed by sales engineering per project
- Bulk specialty gas usually needs a dedicated gas room and exhaust system
Caractéristiques En attente de vérification
| Fluides | Précurseurs liquides tels que TMA, TEOS |
|---|---|
| Commande | Contrôle de la pression, de la température et du débit du gaz porteur |
Valeurs issues de notre site et de nos documents, non vérifiées techniquement. Ne pas les utiliser pour un choix ou une étude.
Fourniture et options
Texte affiché en anglais (traduit de la documentation chinoise) ; pas encore disponible dans cette langue.
Fourniture standard
- Equipment and gas panel
- Operation manual
Options
- Fully automatic / semi-automatic / manual
- Number of sticks, panel size
- Heater boxes and heat tracing
- Matching abatement equipment
À confirmer séparément
- Site secondary piping, installation and commissioning
- Local regulations and acceptance criteria
Documents et FAQ
Comment obtenir un devis ?
Ajoutez des équipements à votre liste ou décrivez votre besoin. Après l’envoi, un commercial confirme les conditions techniques et répond.
Les équipements peuvent-ils être adaptés au projet ?
Oui. Dérivations, taille du panneau, mode de commande, pompes et volume de cuve sont définis par projet et confirmés point par point avec notre commercial technique.
Faut-il s’inscrire ?
Non. Consulter, télécharger les documents publics, interroger l’IA et envoyer une demande se font sans inscription.



