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Armoire à bouteilles de gaz GC
Armoire d’alimentation conçue pour les gaz spéciaux électroniques inflammables, corrosifs et toxiques, pour une distribution sûre et stable.

Armoire à gaz spéciaux
Système de distribution de gaz spéciaux pour la production de semi-conducteurs, LCD, microélectronique et solaire, surtout pour les gaz toxiques, inflammables, corrosifs et rares.

Système d’alimentation en gaz spéciaux en vrac BSGS
Équipement d’alimentation en gaz spéciaux à haut débit, assurant une distribution de très grands débits de gaz spéciaux électroniques de manière sûre, stable et ininterrompue.

Râtelier à bouteilles de gaz GR
Assure la distribution de gaz spéciaux électroniques inertes avec une alimentation stable et continue.

Boîte de distribution à vannes VMB
Boîte de distribution qui divise le gaz spécial de la ligne principale en plusieurs branches, alimentant les équipements de process en toute sécurité via la tuyauterie secondaire.

Boîte de dérivation de gaz VDB
Distribution de premier étage pour les systèmes de gaz spéciaux en vrac, divisant la ligne principale en plusieurs sous-lignes pour une alimentation à haut débit.

Armoire de distribution de précurseurs liquides LDS
Conçue pour les précurseurs liquides tels que TMA et TEOS, alimentant les process en aval de manière sûre, stable et continue.

Module de distribution chimique automatique (acide/base) 1000 L
Système de distribution automatique d’acides et de bases pour la production de semi-conducteurs, solaire, panneaux LCD et fibres optiques.

Module de distribution chimique automatique (acide/base) 200 L
Système de distribution automatique d’acides et de bases pour la production de semi-conducteurs, solaire, panneaux LCD et fibres optiques.

Unité de remplissage chimique automatique
Équipement de remplissage chimique automatique pour la production de semi-conducteurs, solaire, panneaux LCD et fibres optiques.

Module de distribution chimique (organique)
Système de distribution automatique de produits chimiques organiques pour la production de semi-conducteurs, solaire, panneaux LCD et fibres optiques.

Boîte de distribution chimique (organique)
Boîte de distribution pour produits chimiques organiques dans les industries des circuits intégrés, LED, TFT et fibres optiques.

Boîte de distribution chimique (acide/base)
Boîte de distribution pour acides et bases dans la production de semi-conducteurs, solaire, panneaux LCD et fibres optiques.

Unité de traitement par adsorption
Utilise l’adsorption de van der Waals pour capturer les gaz nocifs et ne rejeter que des gaz non toxiques dans l’atmosphère.

Laveur de gaz par voie humide
Traite les gaz inflammables ou facilement décomposables dont les produits se dissolvent facilement dans l’eau.


Unité de traitement chauffée par voie humide
Traite les gaz inflammables ou facilement décomposables dont les produits se dissolvent facilement dans l’eau.

Unité à chauffage électrique et lavage
Décomposition par chauffage électrique suivie d’un lavage par voie humide, pour les gaz dont les produits se dissolvent facilement dans l’eau.

Unité de traitement par plasma
Utilisée lorsque les autres méthodes ne conviennent pas, généralement pour les gaz fluorés. La haute température des électrodes chauffées décompose le gaz, ensuite refroidi pour respecter les exigences de température et d’émission.
Générateur d’azote haute pureté PTA
Procédé en deux étapes PSA + TSA : l’air comprimé entre et de l’azote 5N–7N sort d’une seule unité, remplaçant bouteilles, dewars et réservoirs d’azote liquide.
Purificateur de gaz au point d’utilisation (9N / 7N)
Technologie de catalyseur à température ambiante qui élimine H₂O, O₂, CO, CO₂, H₂, NMHC et autres impuretés d’un gaz de process 5N à moins de 1 ppb par réaction chimique et adsorption physique.
Système de purification à régénération in situ (9N / 7N)
Système de purification pour gaz de process à haut débit ; l’adsorbant se régénère automatiquement sur site, sans retour à l’usine.
Système de purification in situ avec élimination du CH₄
Système de purification à régénération in situ qui élimine également le CH₄, pour l’azote et l’argon.