Подача спецгазовLDS

Шкаф подачи жидких прекурсоров LDS

Предназначен для жидких прекурсоров, таких как TMA и TEOS, безопасно, стабильно и непрерывно питая последующие процессы.

Отрасли: Полупроводники · ЖК-панели · Солнечная энергетика
Источник: Страница изделия на сайте Hankoom

Основное

Точный контроль давления
Контроль температуры
Контроль расхода газа-носителя

Конфигурация под проект
Охват сертификатов подтверждает менеджер
Есть черновик техлиста

Применение и условия

Составлено по нашему сайту и документации; окончательный текст — после технической проверки.

Текст показан на английском (перевод с китайских материалов); на этом языке пока недоступен.

Electronic specialty gas supply for semiconductor, LCD panel and solar lines
Flammable, corrosive, toxic and inert gases matched to the equipment type

Ограничения

Suitability for a given gas, panel materials and certification requirements are confirmed by sales engineering per project
Bulk specialty gas usually needs a dedicated gas room and exhaust system

Характеристики На проверке

Среда	Жидкие прекурсоры, такие как TMA, TEOS
Управление	Контроль давления, температуры и расхода газа-носителя

Значения взяты с нашего сайта и из документов и не прошли техническую проверку. Не используйте их для подбора или проектирования.

Объём поставки и опции

Текст показан на английском (перевод с китайских материалов); на этом языке пока недоступен.

Стандартная поставка

Equipment and gas panel
Operation manual

Опции

Fully automatic / semi-automatic / manual
Number of sticks, panel size
Heater boxes and heat tracing
Matching abatement equipment

Согласуется отдельно

Site secondary piping, installation and commissioning
Local regulations and acceptance criteria

Документы и вопросы

Скачать черновик техлистаHANKOOM_lds_datasheet-draft.txt · Почта не нужна. Черновик содержит только данные этой страницы и не проверен технически.

Скачать

Как получить цену?

Добавьте оборудование в список или опишите задачу. После отправки менеджер уточнит технические условия и ответит.

Можно ли адаптировать оборудование под проект?

Да. Число линий, размер панели, режим управления, насосы и объём ёмкости определяются под проект и согласуются по пунктам с инженером по продажам.

Нужна ли регистрация?

Нет. Просмотр, скачивание открытых документов, вопросы ИИ и отправка запроса — без регистрации.