Продукция
Фильтруйте по линейке и отрасли или ищите по модели. Не нашли — отправьте задачу менеджеру.

Газовый баллонный шкаф GC
Шкаф подачи для горючих, коррозионных и токсичных электронных спецгазов, обеспечивающий их безопасную и стабильную подачу.

Шкаф для спецгазов
Система подачи спецгазов для производства полупроводников, ЖК-панелей, микроэлектроники и солнечной энергии, в основном для токсичных, горючих, коррозионных и редких газов.

Система подачи спецгазов большого расхода BSGS
Оборудование подачи спецгазов большого расхода, обеспечивающее безопасную, стабильную и бесперебойную подачу очень больших расходов электронных спецгазов.

Баллонная рама GR
Обеспечивает подачу инертных электронных спецгазов со стабильным и непрерывным потоком.

Клапанный распределительный бокс VMB
Распределительный бокс, разделяющий спецгаз из магистрали на несколько ветвей, безопасно питающих технологическое оборудование через вторичный трубопровод.

Газовый распределительный бокс VDB
Первичное распределение для систем спецгазов большого расхода, разделяющее магистраль на несколько субмагистралей для подачи большого расхода.

Шкаф подачи жидких прекурсоров LDS
Предназначен для жидких прекурсоров, таких как TMA и TEOS, безопасно, стабильно и непрерывно питая последующие процессы.