Продукция
Фильтруйте по линейке и отрасли или ищите по модели. Не нашли — отправьте задачу менеджеру.

Газовый баллонный шкаф GC
Шкаф подачи для горючих, коррозионных и токсичных электронных спецгазов, обеспечивающий их безопасную и стабильную подачу.

Шкаф для спецгазов
Система подачи спецгазов для производства полупроводников, ЖК-панелей, микроэлектроники и солнечной энергии, в основном для токсичных, горючих, коррозионных и редких газов.

Система подачи спецгазов большого расхода BSGS
Оборудование подачи спецгазов большого расхода, обеспечивающее безопасную, стабильную и бесперебойную подачу очень больших расходов электронных спецгазов.

Баллонная рама GR
Обеспечивает подачу инертных электронных спецгазов со стабильным и непрерывным потоком.

Клапанный распределительный бокс VMB
Распределительный бокс, разделяющий спецгаз из магистрали на несколько ветвей, безопасно питающих технологическое оборудование через вторичный трубопровод.

Газовый распределительный бокс VDB
Первичное распределение для систем спецгазов большого расхода, разделяющее магистраль на несколько субмагистралей для подачи большого расхода.

Шкаф подачи жидких прекурсоров LDS
Предназначен для жидких прекурсоров, таких как TMA и TEOS, безопасно, стабильно и непрерывно питая последующие процессы.

Автоматический модуль подачи химикатов (кислоты/щёлочи) 1000 л
Автоматическая система подачи кислот и щёлочей для производства полупроводников, солнечной энергии, ЖК-панелей и оптического волокна.

Автоматический модуль подачи химикатов (кислоты/щёлочи) 200 л
Автоматическая система подачи кислот и щёлочей для производства полупроводников, солнечной энергии, ЖК-панелей и оптического волокна.

Автоматическая установка заправки химикатов
Автоматическое оборудование заправки химикатов для производства полупроводников, солнечной энергии, ЖК-панелей и оптического волокна.

Модуль подачи химикатов (органика)
Автоматическая система подачи органических химикатов для производства полупроводников, солнечной энергии, ЖК-панелей и оптического волокна.

Распределительный бокс химикатов (органика)
Распределительный бокс для органических химикатов в отраслях ИС, LED, TFT и оптического волокна.

Распределительный бокс химикатов (кислоты/щёлочи)
Распределительный бокс для кислот и щёлочей в производстве полупроводников, солнечной энергии, ЖК-панелей и оптического волокна.

Адсорбционная установка очистки отходящих газов
Использует адсорбцию Ван-дер-Ваальса для улавливания вредных газов и выброса в атмосферу только нетоксичных газов.

Мокрый скруббер отходящих газов
Обрабатывает горючие или легко разлагаемые газы, продукты которых легко растворяются в воде.


Установка с нагревом и мокрой очисткой
Обрабатывает горючие или легко разлагаемые газы, продукты которых легко растворяются в воде.

Установка с электронагревом и мокрой очисткой
Разложение электронагревом с последующей мокрой очисткой, для газов, продукты которых легко растворяются в воде.

Плазменная установка очистки газов
Применяется, когда другие методы не подходят, обычно для фторсодержащих газов. Высокая температура нагретых электродов разлагает газ, который затем охлаждается до требований по температуре и выбросам.
Генератор азота высокой чистоты PTA
Двухступенчатый процесс PSA + TSA: на входе сжатый воздух, на выходе азот 5N–7N из одной установки, заменяя баллоны, сосуды Дьюара и резервуары жидкого азота.
Газоочиститель в точке потребления (9N / 7N)
Технология катализатора при комнатной температуре удаляет H₂O, O₂, CO, CO₂, H₂, NMHC и другие примеси из технологического газа 5N до уровня ниже 1 ppb путём химической реакции и физической адсорбции.
Система очистки с регенерацией на месте (9N / 7N)
Система очистки для технологического газа большого расхода; адсорбент автоматически регенерируется на месте, без возврата на завод.
Система очистки на месте с удалением CH₄
Очистка с регенерацией на месте, также удаляющая CH₄, для азота и аргона.