上海韩科科技股份有限公司
尾气处理设备
等离子式尾气处理设备
在其他处理方式都不适用时采用，处理的气体一般含氟；电极加热产生的高温分解对象气体，分解后再冷却，使排出气体达到温度和排放要求。
- 应用行业
- 半导体 · 光伏 · 液晶面板
- 资料来源
- 韩科官网产品介绍
要点
- 适用含氟气体
- 高温分解后冷却排放
- 按项目定制配置
- 资质范围由销售确认
- 可下载规格书草稿
用途与条件
以下依据官网与产品资料整理，正式内容以技术审核为准。
- 工艺尾气中有害气体的处理
- 按气体种类选择吸附、水洗、燃烧、加热或等离子方式
使用限制
- 处理方式按气体种类和流量选型
- 排放指标以当地法规和项目设计为准
参数规格 待审核
| 处理气体 | NF₃, CF₄, SF₆ |
|---|---|
| 处理方式 | 等离子高温分解 |
参数取自官网与产品资料，尚未经技术审核，不能作为选型或工程依据。
供货与选配
标准供货
- 设备本体
- 操作手册
可选配置
- 处理方式
- 处理量
需另行确认
- 排放标准与检测
- 现场排风与管道
资料与问答
下载规格书草稿HANKOOM_plasma_datasheet-draft.txt · 无需留邮箱，直接下载。草稿只含页面所示信息，未经技术审核。
如何获得报价？
把设备加入询价清单或直接描述需求，提交后由销售人工确认技术条件再回复。
能否按项目定制？
可以。支路数、盘面尺寸、控制方式、泵数和储罐容积等按项目确定，由工程销售与您逐项确认。
必须注册才能咨询吗？
不需要。浏览、下载公开资料、咨询 AI 和提交询价都无需注册。
