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共 7 款设备
专为可燃性、腐蚀性、毒性等电子特气供应设计的气体供应设备，用于电子特气安全、稳定输送。
用于半导体、LCD、微电子及太阳能行业的特殊气体输送系统，多用于有毒、可燃、腐蚀性和稀有气体。
大流量电子特气供应设备，可安全、稳定、持续不间断地提供超大流量电子特气输送。
用于惰性电子特气的输送，可实现稳定、连续的气体供应。
气体供应系统的分配箱，把电子特气从主管路分成多个支路，经二次配管安全、稳定地供应到生产设备。
大宗特气供应系统的一级分流设备，将大宗特气主管路分成若干次级主管路，用于大流量电子特气供应。
专门用于液态前驱体的输送，如 TMA、TEOS 等，确保安全、稳定、连续地为下游工艺供应前驱体。
上海韩科科技股份有限公司
